Фамилия Диетз — это вариант написания немецкой фамилии Dietz, которая пришла в восточноевропейские языки, в том числе и в русский, через посредничество польского или чешского языков. В основе фамилии лежит мужское личное имя Диц (Dietz), которое представляет собой сокращённую, уменьшительную форму классического немецкого имени Дитрих (Dietrich).

Имя Дитрих, в свою очередь, является двухосновным германским именем. Первая часть, theud, восходит к древневерхненемецкому слову со значением «народ», «люди». Вторая часть, rīc, означает «власть», «могущество», «богатство». Таким образом, полное имя Дитрих переводится как «богатый, властный человек» или, в более широком смысле, «правитель народа». Уменьшительная форма Диц (Dietz) закрепилась в качестве самостоятельного имени, а затем и фамилии, минуя полный вариант.

На русской почве фамилия Диетз сохранила иноязычное окончание (-з), что указывает на её позднее заимствование и фиксацию в документах без русификации. В отличие от фамилий на -ов/-ев, которые образуются от прозвищ или имён с помощью патронимического суффикса, Диетз — это пример фамилии-имени, где исходное личное имя перешло в разряд фамилий без изменений.

География бытования фамилии Dietz широка: она распространена в центральной и восточной Европе, особенно в западных славянских странах — Польше, Чехии, Словакии. В России фамилия Диетз встречается редко, преимущественно у потомков немецких колонистов, переселявшихся в XVIII–XIX веках в Поволжье и на юг империи, а также у обрусевших представителей балтийских немцев.