Фамилия Хицилиус — редкий случай, когда русская по происхождению фамилия обрела латинизированное окончание. Если не знать механизма, её можно принять за немецкую, польскую или литовскую. На деле же перед нами типичная семинарская фамилия, искусственно созданная в духовных училищах XVIII–XIX веков.

В основе лежит греческое слово «хитон» (древняя одежда, туника). В латинской передаче оно дало форму «хицилий» или «хицилиус» — так преподаватели семинарий перекраивали бытовые русские прозвища и слова на античный манер. Будущего священника или его отца могли прозвать Хитонником (за привычку носить длинную одежду, за пошив или торговлю хитонами), а в списке учащихся это превратилось в Хицилиус — по модели греко-латинских имён (ср. Виталиус, Эмилиус). Суффикс -ус здесь не родовой, а книжный, призванный облагородить звучание.

Другая, менее вероятная версия выводит фамилию из немецкого Hitzig (горячий, вспыльчивый) с последующей латинизацией. Но для немецких фамилий в России было больше смысла оставлять окончание -ов или -ин, а не переделывать в -ус. К тому же греческая основа объясняет и само слово, и учебную среду, где такие фамилии давали массово.

Географически носители Хицилиус встречаются в основном на юге России и в Поволжье — регионах, где было много духовных училищ при греческих и славянских традициях. Сословно предки почти наверняка принадлежали к духовенству: либо сам носитель окончил семинарию, либо его отец служил при церкви, и фамилию «изобрели» при поступлении сына.

Написание фамилии могло колебаться: встречаются варианты Хицилиус, Хицилиусов, Хицилюс. Первый — самый старый, книжный; второй — попытка «обрусить» окончание, третий — упрощение при записи. В современных документах фамилия почти всегда остаётся в первоначальной латинизированной форме, что делает её легко узнаваемой и оставляет в ней след той эпохи, когда русских людей нарекали по-гречески.