Фамилия Цахриас — редкий пример фамилии, образованной не от славянского имени или прозвища, а напрямую от библейского имени, причём в его западноевропейском звучании. В основе лежит имя Захария (в русской традиции — Захар), которое через греческое Zacharias и латинское Zacharias превратилось в немецком и скандинавском произношении в «Цахариас». Фамилия закрепилась в написании Цахриас, где начальное «Ц» — характерный признак немецкой или польской фонетической адаптации.

Словообразовательная модель здесь простая: фамилия представляет собой застывшую форму полного имени без дополнительных суффиксов. Это отличает её от типичных русских фамилий на -ов, -ин или -ский. Носители фамилии Цахриас в России — это, скорее всего, потомки немцев-колонистов, приглашённых Екатериной II в Поволжье, или выходцев из Прибалтики, где фамилии такого типа были обычны среди лютеранского духовенства и бюргерства. Встречается она и среди еврейского населения, где имя Захария также распространено, но чаще в форме Цахариас или Цахариус.

Написание через «с» на конце — Цахриас, а не Цахариас — может указывать на упрощение в канцелярской записи XIX века, когда чиновники записывали фамилию на слух, отбрасывая «лишние» слоги. В метрических книгах лютеранских приходов Петербурга и Москвы можно встретить варианты Цахариус, Цахари, а также Цахриус — все они восходят к одному корню. Таким образом, фамилия Цахриас — не «искажённая» и не «русифицированная», а органичная для своей языковой среды форма, прямо называющая предка по имени, без посредников в виде прозвища или профессии.