Фамилия Бенфиалов — редкий случай, когда русская словообразовательная модель наложилась на нерусскую, скорее всего, тюркскую или кавказскую основу. Суффикс -ов указывает на принадлежность: «чей?» — Бенфиалов, то есть сын или потомок человека по прозвищу Бенфиал. Само прозвище Бенфиал совершенно нехарактерно для славянской ономастики, и его корни стоит искать в языках народов Кавказа или Поволжья.

Наиболее вероятная версия связывает основу с тюркским именем или прозвищем Бенфиал, где «бен» — «я», «господин», а «фиал» — искажённое арабское «фиал» (действие, поступок) или производное от имени Фиал. Однако куда правдоподобнее выглядит привязка к осетинскому или ингушскому имени Фиал (Фиало), к которому добавился тюркский компонент «бен» (князь, господин). В таком случае Бенфиал означало «господин Фиал» — уважительное обращение к человеку по имени, которое со временем закрепилось как фамильное прозвище.

Морфология фамилии проста: корень Бенфиал- плюс типичный русский суффикс -ов, который в XIX веке массово добавляли к нерусским основам при оформлении фамилий в официальных документах. Это говорит о том, что носители фамилии, скорее всего, были выходцами из смешанной этнической среды (например, терские казаки, горские евреи или представители народов Северного Кавказа), которые перешли на русский язык и приняли русскую фамильную модель.

Встречаемость фамилии крайне низкая, она практически не фиксируется в исторических справочниках и современных телефонных книгах. Это позволяет предположить, что род Бенфиаловых — локальный, возможно, происходящий из одного села или аула. Географически фамилия может быть связана с Дагестаном или Чечнёй, где сочетание тюркских и кавказских элементов в именах — обычное дело.

Другие версии, например, греческая или еврейская (от ивритского «бен» — сын), менее убедительны, так как вторая часть «фиал» не находит убедительного толкования в семитских языках. В любом случае, фамилия Бенфиалов — яркий пример того, как русский суффикс «пришил» к чужому имени фамилию, сохранив при этом память о предке, которого звали или величали Бенфиал.