Фамилия Бенилова — женская форма, а её мужской вариант — Бенилов. Эта фамилия относительно редкая, и её происхождение напрямую связано с именем или прозвищем, от которого она образована. В основе фамилии лежит суффикс -ов, указывающий на принадлежность («чей?» — сын Бенила). Это типичная модель для русских фамилий, сформировавшихся в XV–XVII веках в среде крестьянства, духовенства и служилых людей.

Корень фамилии — Бенил. Здесь возможны две основные версии. Первая, наиболее вероятная, связывает основу с каноническим крестильным именем Вениамин (от древнееврейского «сын правой руки», «сын счастья»). В просторечии это имя нередко усекалось и видоизменялось: от Вениамина могли образоваться формы Веня, Венюха, а затем и Беня, Бенила. Суффикс -ил в этом случае — народная, разговорная прибавка, характерная для русских прозвищных форм (сравните: Гаврила, Данила). То есть Бенила — это уменьшительно-бытовое обращение к человеку по имени Вениамин.

Вторая версия, менее распространённая, но не исключённая, — происхождение от тюркского имени Бенил или Бен-Ил. В тюркских языках «бен» может означать «родинка», «метка», а «ил» — «страна», «племя». Такое имя могло попасть в русскую среду через контакты с татарами или башкирами, особенно в южных и восточных регионах России. Однако для фамилии Бенилова эта версия слабее, так как суффикс -ов — исконно русский, и маловероятно, чтобы тюркское имя получило такую типично славянскую огласовку без промежуточного прозвища.

Географически фамилия Бенилова встречается разрозненно, без ярко выраженного «гнезда». По данным открытых источников, носители фамилии зафиксированы в центральной России, Поволжье и на Урале. Это говорит о том, что фамилия не была массовой и, скорее всего, возникла в нескольких отдельных родах независимо друг от друга. Социальный состав предков — вероятнее всего, крестьяне или посадские люди, так как фамилии на -ов у дворянства обычно образовывались от полных форм имён или географических названий, а не от усечённых и уменьшительных.

Особенность фамилии — её звучание: она легко путается с фамилией Бенилова (с ударением на второй слог), но в реальности ударение, по аналогии с фамилиями от имён на -ила, должно падать на второй слог — Бени́лова. В написании нет ничего необычного, но из-за редкости её иногда ошибочно записывают как «Бениллова» (с двумя «л»). Таким образом, фамилия Бенилова — это типичный пример того, как церковное имя в народной речи превратилось в прозвище, а затем закрепилось в качестве фамильного имени, сохранив отпечаток разговорной традиции.