Фамилия Чарухилова — редкая и примечательная по своему окончанию. Она образована от мужской формы Чарухилов, а та, в свою очередь, от прозвища или неканонического имени Чаруха. Суффикс -их- здесь указывает на принадлежность к роду: Чаруха — это конкретный человек, а Чарухиловы — его потомки. Такая модель (на -их-) чаще встречалась в северных и центральных губерниях России, особенно в старых новгородских землях, где фиксировали «чей ты будешь»: Чарухин сын, потом Чарухины, а в официальной записи, под влиянием московской канцелярской нормы, добавился суффикс -ов.

Основа фамилии — слово «чаруха». В русских говорах у него несколько значений, и все они связаны с бытом или характером. В тверских и псковских диалектах «чаруха» — это деревянная кружка, ковш, иногда большая чаша для питья. Прозвище Чаруха мог получить любитель выпить, или, наоборот, тот, кто делал или продавал такую посуду — бондарь, коробейник. Вторая версия: в некоторых регионах «чарухой» называли неуклюжую, медлительную женщину или, реже, мужчину с такой же повадкой. Третья, более редкая, связывает слово с «чары» — колдовство. Тогда Чаруха — это знахарь, ведун, человек, которому приписывали магические способности. Этот вариант менее вероятен для фамилии, так как прозвища от «чар» чаще образовывались через суффикс -ун (Чарун) или -ак (Чарак).

Фамилия почти не встречается за пределами России и не имеет известных аристократических ветвей. По данным переписей, носители сосредоточены в нескольких районах: есть следы в Вологодской области, в бывшей Вятской губернии и на Урале. В XIX веке Чарухиловы числились в основном среди государственных крестьян и мещан. Написание устойчивое, без вариантов вроде Чарухин или Чарушев — это говорит о том, что фамилия сложилась поздно, уже после закрепления фамильного суффикса, и не подверглась диалектному упрощению.

С точки зрения словообразования, фамилия уникальна тем, что сохранила редкий двойной суффикс -их- + -ов-. В русской ономастике такие формы единичны: обычно либо Чарухин (от Чаруха напрямую), либо Чарушин (от Чаруша). Чарухилов — более архаичный вариант, который буквально означает «из рода того, кого звали Чарухой».