Фамилия Тильш образована от аналогичного имени, являющегося производной формой имени Дитрих. В свою очередь, имя Дитрих представляет собой одну из форм мужского имени Тедерих. Оно сочетает в себе два германских слова: существительное theod со значением «люди, народ» и прилагательного rīc, переводящегося как «богатый». Таким образом, именование Тедерих можно трактовать как «богатый народ». Среди известных однофамильцев можно назвать австрийскую поэтессу и писательницу Ильзу Тильш.