Фамилия Черкашова — одна из тех, что образована от прозвища или имени, и её основа напрямую связана с этнонимом. В русском языке слово «черкас» исторически обозначало не жителя Черкасс, а представителя одного из тюркских народов Северного Кавказа, чаще всего — черкеса или кабардинца. В XVI–XVII веках на Руси черкасами называли также запорожских казаков, но этот смысл был вторичным и локальным. Таким образом, прозвище Черкаш могли дать человеку, который внешне или по происхождению напоминал выходца с Кавказа, либо тому, кто долго жил в тех краях или торговал с ними.

Суффикс -ов в основе указывает на типичную русскую патронимическую модель: Черкашов — сын Черкаша. Форма Черкашова — женский вариант или родительный падеж, но в быту закрепилась как фамилия. Интересно, что в отличие от более распространённой фамилии Черкасов, здесь корень короче и без суффикса -ас-. Черкаш — это, скорее всего, более древняя или диалектная форма прозвища, которая могла бытовать в южнорусских и украинских говорах. В документах XVII века встречаются упоминания «черкаш» как обозначения черкеса, но в качестве фамилии эта форма встречается реже, чем Черкасов.

Поскольку фамилия образована от прозвища, а не от крестильного имени, она не указывает на сословную принадлежность предка. Черкашовыми могли быть и крестьяне, и казаки, и служилые люди. В переписных книгах XVII–XVIII веков носители этой фамилии чаще всего фиксировались на юге России — в Курской, Воронежской, Тамбовской губерниях, где этнические контакты с кавказцами и запорожцами были обычным делом. Со временем фамилия распространилась шире, но её географическая привязка остаётся заметной.

С точки зрения словообразования, фамилия Черкашова стоит в одном ряду с такими же «этнонимическими» фамилиями, как Татаринов, Немцов, Ляхов. Однако её особенность — в двойной этимологической неоднозначности: «черкас» могло означать и черкеса, и украинского казака, и даже жителя города Черкассы. В каждом конкретном случае значение прозвища зависело от контекста, в котором его дали. Правдоподобнее всего версия с кавказским корнем, так как именно она подтверждается историческими источниками и диалектными данными.