Фамилия Меркашова образована от мужского прозвища или имени Меркаш. В основе лежит древнерусское некалендарное имя Меркул или Меркурий, которое в народной речи сократили до Мерка. Суффикс -аш придал уменьшительно-ласкательный оттенок, как в именах Тимоша или Якуша. Так на Руси называли человека, носившего имя Меркурий, — в честь раннехристианского мученика, почитаемого и православной, и католической церковью.

Фамилия закрепилась по модели притяжательных прилагательных с суффиксом -ов: Меркашов означало «сын Меркаша». Женская форма Меркашова — естественное грамматическое следствие, когда речь идет о женщине или семье в целом. Подобные именования широко представлены в ономастике восточных, западных и южных славян: славянские фамилии возникали от личного прозвища или от имени — христианского или языческого, и Меркашова стоит в этом ряду.

Сокращение церковного имени до короткой обиходной формы — типичный путь для русских фамилий. Меркурий в народе звучал как Меркул, Меркуша, Мерка. В писцовых книгах XVI–XVII веков встречаются крестьяне и посадские люди с такими именами, особенно в северных и центральных уездах России, где была сильна традиция бытовых, нецерковных именований. Фамилия Меркашова, таким образом, хранит память о предке, которого в быту звали ласково и коротко, а по документам он числился Меркурием.

Отдельного внимания заслуживает редкость фамилии. Меркашовы и Меркашовы не входят в число распространенных родов, что говорит о локальном происхождении — вероятно, от одного основателя в конкретной местности. Это делает фамилию ценной для семейной генеалогии: проследить ее историю проще, чем в случае с массовыми фамилиями вроде Ивановых или Кузнецовых. В современных справочниках фамилия фиксируется преимущественно в Поволжье и на Урале, что косвенно подтверждает миграцию предков из центральных регионов в ходе колонизации новых земель в XVII–XVIII веках.