Фамилия Кашов образована от прозвища или нецерковного имени Каш. Самая вероятная основа — тюркское слово «каш» со значением «бровь». В тюркских языках это слово могло также означать «берег», «край» или «оправа», но именно «бровь» чаще становилась прозвищем — так могли назвать человека с густыми, сросшимися или очень заметными бровями. Антропонимика народов Поволжья и Кавказа знает множество примеров, когда часть тела становилась личным именем или прозвищем: Карак («глаз»), Сакал («борода»), Каш («бровь»). В русской среде такие прозвища приживались через контакты с татарами, башкирами, чувашами или кумыками.

Менее вероятная, но возможная версия — связь с глаголом «кашлять». Прозвище Каш могли дать человеку с хроническим кашлем или хриплым голосом. Однако эта версия слабее: в русских говорах для кашляющего человека использовали другие прозвища (Кашлюн, Кашляк), а краткая форма Каш встречается редко. Кроме того, фамилия Кашов распространена в регионах с сильным тюркским влиянием — в Астраханской области, на Северном Кавказе, в Татарстане, что указывает на восточное происхождение основы.

Суффикс -ов указывает на типичную русскую модель образования фамилий от основ, оканчивающихся на согласный. Первоначально форма Кашов означала «сын Каша» или «принадлежащий Кашу». В документах XVII–XVIII веков такая фамилия могла фиксироваться у служилых татар, казаков или крестьян южных уездов. Встречается также вариант Кашев — он возникает при адаптации тюркской основы с мягким произношением конечного согласного.

Родственные фамилии — Кашин, Кашков, Кашаев. От Кашова их отличает именно корень Каш- без дополнительных суффиксов или наращений. Если Кашин чаще связывают с рекой Кашей или именем Каша (уменьшительное от Касьян), то Кашов прямо отсылает к прозвищу, что делает его более прозрачным для этимологического разбора.